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產(chǎn)品型號(hào)：SP1廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-11-16訪 問 量：502新款ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼真空計(jì)設(shè)備
新款ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼真空計(jì)設(shè)備
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
用于使低溫泵運(yùn)轉(zhuǎn)。將壓縮后的氦氣送出冷凍機(jī)，冷卻從冷凍機(jī)回來的高溫氦氣，使之循環(huán)
傳感器規(guī)格：如果需要壓力
·空白計(jì)劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡化
確定子更換眼睛
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個(gè)使用的測(cè)量組件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0至5 V輸出（非輸出）
電源電壓：24 VDC輸入
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準(zhǔn)確性 | ±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10～40℃ |
| 測(cè)量值輸出 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制輸出信號(hào) | 開路集電極輸出，負(fù)邏輯 |
| 錯(cuò)誤信號(hào) | |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 | |
| LED 顯示屏 | 電源、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括傳感器頭） |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1個(gè) |
| 快速手冊(cè) 1本 |
IO和模擬GND與電源GND不隔離。
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