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產(chǎn)品型號(hào)：VUM3500廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2025-11-15訪 問(wèn) 量：570全新ORC歐阿希 VUM-3500半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備
全新ORC歐阿希 VUM-3500半導(dǎo)體用UV照射設(shè)備
它是一種小型輕便的手持式測(cè)量?jī)x器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備。
請(qǐng)使用它來(lái)管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量?？梢暂p松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用（或計(jì)劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測(cè)量數(shù)據(jù)可通過(guò)RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測(cè)量?jī)x器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)配備紫外線燈的設(shè)備。
請(qǐng)使用它來(lái)管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
采用254nm波長(zhǎng)， 去除電荷。
單波長(zhǎng)允許低溫處理。
用低入射角紫外線有效照射目標(biāo)區(qū)域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
閃存、其他非易失性存儲(chǔ)器、圖像傳感器等的電荷去除和數(shù)據(jù)擦除。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量?？梢暂p松測(cè)量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用（或計(jì)劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測(cè)量數(shù)據(jù)可通過(guò)RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
| 模型 | VUM-3500 |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | Φ300毫米（標(biāo)準(zhǔn)） |
| 同時(shí)處理數(shù) | 15 件 |
| 盒式磁帶格式 | 晶圓傳送盒 |
| 晶圓運(yùn)輸 | 自動(dòng)輸送 |
| 燈數(shù)量 | 20 件 |
| 照度測(cè)量 | 自動(dòng)測(cè)量 |
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