ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計SW100-A

1. ?測量原理與范圍?

• ?原理?：基于皮拉尼效應（Pirani Effect），通過測量氣體熱導率變化來精確評估壓力，適用于中等真空環(huán)境。

• ?壓力范圍?：覆蓋寬泛的真空區(qū)間，從粗真空到中等真空，具體數(shù)值需參考手冊，滿足多樣化的工業(yè)應用需求。

2. ?物理與電氣特性?

• ?尺寸與重量?：采用緊湊設計，便于集成到復雜系統(tǒng)中，重量輕便，減少安裝負擔。

• ?電源要求?：標準電壓輸入，支持高效運行，確保低能耗和穩(wěn)定性能。

3. ?性能與響應?

• ?響應時間?：快速響應壓力變化，優(yōu)化實時監(jiān)控能力，提升工藝控制效率。

• ?精度?：高測量精度，確保在半導體制造和科研實驗中提供可靠數(shù)據(jù)。

4. ?環(huán)境適應性?

• ?工作溫度范圍?：適應廣泛的工業(yè)環(huán)境，內(nèi)置保護機制防止溫度影響。

• ?防護等級?：符合工業(yè)安全標準，具備防塵和防潮特性，保障惡劣條件下的可靠性。

5. ?連接與接口?

• ?通信接口?：配備標準電子端口，支持與控制系統(tǒng)無縫集成，便于遠程監(jiān)控和參數(shù)調(diào)整。

• ?安裝方式?：提供靈活選項，如法蘭或螺紋連接，簡化系統(tǒng)集成流程。

6. ?應用場景?

• ?半導體制造?：用于刻蝕和沉積工藝，維持穩(wěn)定的真空條件，提升產(chǎn)品良率。

• ?科研與實驗室?：在電子顯微鏡或粒子加速器中，確保高精度實驗環(huán)境。

• ?鍍膜技術?：優(yōu)化光學鍍膜過程，減少氣體干擾，提高涂層均勻性。

7. ?優(yōu)勢與可靠性?

• ?耐用性?：采用耐腐蝕材料，延長使用壽命，降低維護頻率。

• ?智能功能?：集成實時數(shù)據(jù)反饋，支持預防性維護，減少停機風險。